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LMX2E

特征 应用
 
直线度可达10um
X轴最大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止杂讯干扰
Z向震动可达奈米等级以下
最大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回​​馈系统解析度最低可达50nm
半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备
工具机