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LMX2E

特征应用

直线度可达10um

X轴最大6m Y轴0.5m行程

以线性滑轨架构之定位平台

良好接地设计防止杂讯干扰

Z向震动可达奈米等级以下

最大速度可达5m/s

标准重现精度1um或以下

位置回馈系统解析度最低可达50nm

半导体设备

自动化搬送

FPD设备

太阳能制造设备

PCB设备

水刀设备

钻石切割产业

AOI检测设备

工具机