特征 应用

 

最大行程4m x 4m

以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台

良好接地设计防止杂讯干扰

Z向震动可达奈米等级以下

最大速度可达5m/s

标准重现精度1um或以下

位置回​​馈系统解析度最低可达50nm 半导体设备

自动化搬送

FPD设备

太阳能制造设备

PCB设备

水刀设备

钻石切割产业

AOI检测设备

工具机